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・劣化・老化による材質の変化 応力集中の原因となるもの ・ゴム材料中の潜在的欠陥 ・異物と接する個所 ・傷 摩耗 ・アブレシブ摩耗：硬くて鋭い突起がゴム表面を引っかく ・凝着摩耗：滑らかな相手面との摩擦で生じる ・疲労摩耗：表面の疲労によっシリコンの熱酸化 51 熱酸化の目的 Siウェーハは大気中で自然酸化して表面に非常に薄いがSiO 2の膜で被覆されている。 Siとその上に生じたSiO 2膜の密着性は強力である。酸化を高温で行なうと厚い緻密で 安定な膜が生じる。Siの融点は1412℃であるが、SiO 表 劣化原因と電解液(質)の分解反応機構 現象 鎗 牝 原 因 代薮的な分解反応と生成物 通常運転 電解液の組成抵抗成分の増大変化 溶媒の不可逆な交換反応上記に伴う､反応生成物等の電極表面への堆 構 Li2CO8,Li2EMp,Li,Lion,ROCO2GDE仁D醐cLiなど エスケー化研 プレミアムシリコン ラジカル制御式 株式会社月実塗装 静岡県富士宮市 富士市 シリコン 劣化 原因